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半導(dǎo)體行業(yè)的高效廢氣處理

發(fā)布時間：

2022-03-12

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在高科技行業(yè)的許多生產(chǎn)過程中——例如蝕刻、CVD和外延工藝——都會用到關(guān)鍵氣體，產(chǎn)生的廢氣需要直接處理。這些被認為是溫室氣體的廢氣有毒和/或高度易燃，并且經(jīng)常對生產(chǎn)設(shè)施和環(huán)境構(gòu)成重大風(fēng)險。例如，半導(dǎo)體行業(yè)使用全氟化碳，其全球變暖潛力極高，因此需要有效的廢氣處理。將不同的氣體混合并輸送到晶圓廠的中央廢氣系統(tǒng)中可能會產(chǎn)生高度易燃和易爆的氣體混合物，這在過去偶爾會導(dǎo)致整個生產(chǎn)設(shè)施的全部損失。氣體中含有的顆粒也可能導(dǎo)致排氣堵塞。為了消除這些風(fēng)險，需要在“使用點”（POU）處理工藝廢氣，從而立即減少有害廢氣。這可以通過燃燒/濕法系統(tǒng)、氣體洗滌器和靜電過濾器進行管理。? ?

半導(dǎo)體行業(yè)中大多會使用的顯影劑、清洗劑、蝕刻液、光刻膠、等溶劑中含有大量有機物成分。 在生產(chǎn)工藝使用過程中，這些有機溶劑大部分很容易通過揮發(fā)成為廢氣排放。

在高科技行業(yè)的許多生產(chǎn)過程中——例如蝕刻、CVD和外延工藝——都會用到關(guān)鍵氣體，產(chǎn)生的廢氣需要直接處理。這些被認為是溫室氣體的廢氣有毒和/或高度易燃，并且經(jīng)常對生產(chǎn)設(shè)施和環(huán)境構(gòu)成重大風(fēng)險。例如，半導(dǎo)體行業(yè)使用全氟化碳，其全球變暖潛力極高，因此需要有效的廢氣處理。

總而言之，廢氣處理方面，半導(dǎo)體行業(yè)酸、堿廢氣一般采用相應(yīng)的堿液吸收和酸液吸收進行處理， 工藝方法已非常成熟，只要適當(dāng)優(yōu)化相關(guān)工藝參數(shù)，能夠滿足本標準的要求，需要關(guān)注的有機廢氣的處理。目前處理有機廢氣的工藝有吸附法、吸收法、直接燃燒法、催化燃燒法、冷凝法等，吸附法采用活性炭直接吸附，凈化效果好，但是運營成本會很高；吸收法適合于溫度低、中高濃度的廢氣；直接燃燒法適合于高濃度、小風(fēng)量廢氣治理；冷凝法適用于成分相 對單一、濃度高、且有一定回收價值的有機廢氣。對于半導(dǎo)體行業(yè)低濃度、大風(fēng)量、成分復(fù)雜的有機廢氣，吸附法、吸收法、燃燒法、冷凝法均不適用，比較適用的是吸附——催化燃燒法。目前省內(nèi)一些大型半導(dǎo)體企業(yè)已采用沸石轉(zhuǎn)輪濃縮后燃燒，該方法適用于大風(fēng)量、低濃度、常溫的有機廢氣處理，凈化效率達到90％以上，濃縮比達20﹕1，運行費用較低，設(shè)備處理風(fēng)量大，占地面積小，不產(chǎn)生二次污染，可持續(xù)脫附并處理污染物。根據(jù)企業(yè)實際運 行情況，有機廢氣進氣濃度在200mg/m3以上時，處理效率達到95%；200mg/m3以下時處理 后濃度控制在20mg/m3，可保證廢氣達標排放。

將不同的氣體混合并輸送到晶圓廠的中央廢氣系統(tǒng)中可能會產(chǎn)生高度易燃和易爆的氣體混合物，這在過去偶爾會導(dǎo)致整個生產(chǎn)設(shè)施的全部損失。氣體中含有的顆粒也可能導(dǎo)致排氣堵塞。為了消除這些風(fēng)險，需要在“使用點”（POU）處理工藝廢氣，從而立即減少有害廢氣。這可以通過燃燒/濕法系統(tǒng)、氣體洗滌器和靜電過濾器進行管理。